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  1. 長野工業高等専門学校教育研究報告
  2. 第1号

Si3N4, AlN, SiCセラミックスのYAGレーザ-切断加工と機械的特性

https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/2000071
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/2000071
60e4b221-b269-4505-be62-c97e61cb9755
名前 / ファイル ライセンス アクション
101_02-02.pdf 101_02-02.pdf (1.1 MB)
アイテムタイプ 教育研究報告 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2024-08-30
タイトル
タイトル Si3N4, AlN, SiCセラミックスのYAGレーザ-切断加工と機械的特性
言語 ja
タイトル
タイトル YAG laser cutting of Si3N4, AlN, SiC ceramics and its mechanical property
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 Si3N4
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 AlN
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 SiC
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 YAGレーザー切断加工
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 堀口勝三

× 堀口勝三

ja 堀口勝三

en HORIGUCHI Katsumi

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森山実

× 森山実

ja 森山実

en MORIYAMA Minoru

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三尾敦

× 三尾敦

ja 三尾敦

en MIO Atsushi

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Si3N4, AlN and SiC ceramics with a relative density of 96.5% or more were processed by YAG laser cutting, and the change in strength due to the processing was evaluated.
When a single laser beam was irradiated, the beam depth ? increased in proportion to the energy E [J] of the laser beam. The relationship between E and ? is about 1J→0.6~0.8mm, 2J→0.9~1.1mm. The beam-hole diameter with conical shape was 0.15 to 0.22 mm at the irradiated surface. The Vickers hardness of the processed surface decreased to about 13-22%. The 3-point bending strength decreased to 33-45%. The surface roughness decreased greatly from 1/62 to 1/146. From the observation of the structure of the irradiated cross section, the structure melted by heat of laser beam was observed in Si3N4 and AlN, and the sintered structure with traces of processing was observed in SiC.
言語 en
書誌情報
巻 1, 号 2-02, 発行日 2024-08-30
出版者
出版者 長野工業高等専門学校
言語 ja
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1882-9155
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA1259397X
見出し
大見出し 研究報告
言語 ja
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Ver.1 2024-09-06 02:10:53.806107
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