WEKO3
アイテム
プラズマCVD法によるアモルファスSiNxCy膜の付着強度
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/2000075
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/20000756d5209e8-3d03-4ccd-8100-aa38164631e1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
101_02-06.pdf (680 KB)
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| アイテムタイプ | 教育研究報告 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2024-08-30 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | プラズマCVD法によるアモルファスSiNxCy膜の付着強度 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Adhesive strength of the amorphous SiNxCy ceramic films by P-CVD method | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | SiNxCy膜 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | プラズマCVD法 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 付着強度 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | スクラッチ法 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| 著者 |
堀口勝三
× 堀口勝三
× 森山実
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Using a plasma CVD apparatus, SiNxCy films (Si3N4-SiC, SiNx, SiCy) are prepared from SiH4-90%Ar, NH3, C2H4 and H2 gases on a crown glass substrate. Adhesive strength is evaluated using critical peel load (Lc) and critical peel shear stress (σcs) as measured with the scratch test. The effects of the compositional change from Si3N4 to SiC films are investigated. When the film thickness is 1 μm, the composition dependence is large, and Lc varies greatly from 19.5N to 44.3N, and σcs values are 1.0 to 1.53GPa. On the other hand, when film thickness is 5 μm, Lc values are 17.0 to 29.5N, and σcs values are 0.9 to 1.23GPa. In addition, the film thickness and surface roughness of substrate have a large effects on the adhesive strength. |
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| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
巻 1, 号 2-06, 発行日 2024-08-30 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 長野工業高等専門学校 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1882-9155 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA1259397X | |||||||||||||
| 見出し | ||||||||||||||
| 大見出し | 研究報告 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
