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アイテム
プラズマCVD法によるアモルファスSiNxCy膜の衝撃強度
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/2000076
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/2000076ffa6e8fd-08e1-4735-add4-06a6e783163e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
101_02-07.pdf (545 KB)
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| アイテムタイプ | 教育研究報告 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2024-08-30 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | プラズマCVD法によるアモルファスSiNxCy膜の衝撃強度 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Impact strength of the amorphous SiNxCy ceramic films by P-CVD method | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | SiNxCy膜 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | プラズマCVD法 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 衝撃強度 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | アイゾット試験 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| 著者 |
堀口勝三
× 堀口勝三
× 森山実
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Using a charge coupled plasma CVD apparatus, SiNxCy films (Si3N4-SiC, SiNx and SiCy system) are deposited from SiH4-90%Ar, NH3, C2H4 and H2 gases on a crown glass substrate. The impact absorption energy (E) or impact strength (IS) of the coated substrate was investigated. The influence of composition from Si3N4 to SiC films was tested, for example. In the case of a film thickness of 5μm, the impact absorption energy (E ) changed from 68.1mJ (IS : 2.84kJ/m2) on the Si3N4 side to 78.1mJ (IS :3.25 kJ/m2) on the SiC side. But these energies were less than 50% of that of the substrate itself (E:159.2mJ, IS: 6.63 kJ/m2). Hard film coatings reduce impact strength. |
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| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
巻 1, 号 2-07, 発行日 2024-08-30 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 長野工業高等専門学校 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1882-9155 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA1259397X | |||||||||||||
| 見出し | ||||||||||||||
| 大見出し | 研究報告 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
