WEKO3
アイテム
CVD法を用いた絶縁性セラミックス膜の合成と特性評価
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/830
https://nagano-nct.repo.nii.ac.jp/records/830b721f7d1-401a-4524-910b-27887ed5ac2c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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47_1-4 (733.2 kB)
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.png)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2013-07-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | CVD法を用いた絶縁性セラミックス膜の合成と特性評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 熱CVD | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | アルミナ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | アルミニウムイソプロポキシド | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Fabrication and Evaluation for Insulated Ceramic Film using Thermal CVD | |||||
| 著者 |
森山, 実
× 森山, 実 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1687 | |||||
| 姓名 | MORIYAMA, Minoru | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Alumina film was deposited on several metallic and ceramic substrates by thermal decomposition of metal-organic compound (aluminum-isopropoxide) using thermal CVD to get a insulated ceramic film. The film was characterized by a electric conductivity, morphology observation using scanning electron microscope (SEM), diffraction pattern of X-ray and film thickness. | |||||
| 書誌情報 |
長野工業高等専門学校紀要 en : Memoirs of Nagano National College of Technology 巻 47, p. 1-4, 発行日 2013-06-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長野工業高等専門学校 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0286-1909 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA1259397X | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 見出し | ||||||
| 大見出し | 学術論文 | |||||
| 言語 | ja | |||||
